Report utenteCavi per camera bianca, con oltre 31 milioni di cicli all'anno

• Cosa serviva: Cavo piatto e-skin®
• Requisiti: Elevata precisione, tempi di ciclo brevi e affidabilità in funzionamento continuo Settore:
• Produzione di semiconduttori Successo
• per il cliente: L'applicazione ha dato prova di sé per un anno con tempi di ciclo di circa 1 secondo e quindi oltre 31 milioni di cicli all'anno

I sistemi "Volume Pattern Generator", in breve VPG, di Heidelberg Instruments sono utilizzati principalmente nella produzione industriale di massa. Utilizzano laser UV per generare fotomaschere ad alta precisione e velocità, che servono come modelli per la produzione di microchip, sensori, LED e MEMS (sistemi microelettromeccanici). Altre possibili applicazioni per i sistemi VPG includono la scrittura diretta di microstrutture su wafer.

Oltre all'estrema precisione, il funzionamento 24 ore su 24, 7 giorni su 7 e tempi di ciclo molto brevi ogni secondo fanno parte del profilo dei requisiti degli azionamenti nei sistemi. Michael Kappel, responsabile della progettazione elettrica: "Ecco perché sviluppiamo internamente molti componenti principali, tra cui tavoli XY con cuscinetti ad aria". Poiché il processo di esposizione avviene in condizioni di camera bianca, i componenti di azionamento devono essere selezionati di conseguenza. Ciò vale in particolare per le linee di alimentazione di energia, segnale e media al tavolo XY. Anche le particelle di polvere più piccole compromettono la qualità dell'esposizione. Un altro requisito è almeno altrettanto importante. Kappel: "Anche la minima perturbazione nel flusso di energia deve essere evitata, poiché riduce la precisione dell'esposizione."

Durante questo progetto di sviluppo, igus® ha presentato e-skin® flat: un nuovo concetto di catena portacavi che rinuncia alle catene utilizzate in precedenza. Al loro posto, i cavi e i tubi flessibili vengono guidati in profili piatti, i cosiddetti pod, che possono essere aperti e chiusi singolarmente a seconda delle necessità. Questo sistema compatto consente un raggio di curvatura molto ridotto ed è resistente all'usura e all'abrasione durante il movimento, anche perché non ci sono maglie della catena che si toccano tra loro. Ciò significa che può essere utilizzato in camere bianche, anche in più strati, come confermato dai test effettuati dal Fraunhofer IPA. L'innovazione è arrivata al momento giusto: gli ingegneri progettisti di Heidelberg hanno costruito un dimostratore per i test di resistenza con la nuova alimentazione di energia, che ha completato 120 milioni di cicli con ISO 1 nel laboratorio di prova igus®. Il cavo ha superato il test con piena soddisfazione dell'utente. igus® ha eseguito le ultime modifiche agli elementi di fissaggio e il nuovo sistema di alimentazione di energia per i "piccoli" sistemi VPG e ULTRA è stato completato.

Questa soluzione è in uso ormai da un anno e ha dato prova di sé nella pratica, anche in applicazioni molto dinamiche con tempi di ciclo di circa un secondo, ovvero oltre 31 milioni di cicli all'anno. Heidelberg Instruments utilizza cavi chainflex® igus® di alta qualità con rivestimento in TPE resistente all'abrasione.